微細加工 サブミクロン素子への展開

中野朝安, 著星野洋, 著小松良策

微細加工の歴史的な経緯およびその技術を解説。半導体プロセス，製造装置に関する入門書

出版社

東京電機大学出版局

発売日

1989-03-20

ページ数

250ページ

ISBN

9784501313302