薄膜の基本技術　第2版

金原粲

薄膜を初めて作る人のために書かれた入門書．真空蒸着法，スパタリング法，プラズマプロセスによる薄膜作製技術が詳細に解説され，また初心者に必要な基礎知識が分かりやすく書かれている．旧版発行後１０年間の進展を新たに記述し，全面的に改訂している．

出版社

東京大学出版会

発売日

1987-09-01

ページ数

172ページ

ISBN

9784130630412