入門真空・薄膜・スパッタリング入門真空・薄膜・スパッタリングR.V Stuart, 毛利衛, 数坂昭夫出版社技報堂出版発売日1985-10-01ISBN9784765503587読みたい読書中読んだ詳細はこちらからAmazonで見るシェアする