走査電子顕微鏡

電子線で試料表面を走査する走査電子顕微鏡（SEM）は，試料表面形状だけではなく，試料の元素組成や結晶方位，三次元形状など，さまざまな情報を得る手法として発展を遂げ，多くの研究・産業分野で広く用いられている．本書は，このようにSEMの応用が広がっている状況を踏まえ初版を大幅に改訂．SEMの基礎的・理論的な説明から，分野に応じた試料の準備・前処理法や観察手法を実際の観察事例とともに解説した．さらに，データサイエンス・機械学習の応用や三次元像の構築，自動化なども，最新の実例とともに紹介している． SEM の初心者から，応用を検討している実務者・研究者まで必携の一冊．