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スパタリング現象

〔目次〕　１序論，２スパタリング現象の特徴，３スパタリングの理論，４特殊なスパタリング現象，５スパタリング法による薄膜作製装置，６スパタリングでつくられた薄膜の特徴，７スパタリング薄膜の応用，各章文献，索引．

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