材料の評価システム

岸輝雄, 著小間篤, 著小宮祥男他

〔目次〕１．材料のその場評価手法，２．半導体材料プロセスの評価法，３．力学的性質評価法，４．非破壊評価法，５．アコースティックエミッションによる材料評価法，引用文献および参考文献，索引．

出版社

東京大学出版会

発売日

1987-07-01

ページ数

202ページ

ISBN

9784130641586