二次イオン質量分析法
二次イオン質量分析法（SIMS）は，試料表面にイオンビームを照射し，飛び出した二次イオンの質量を検出して物質を同定し，さらに各物質の試料中での分布をイメージングする手法である．金属や半導体から高分子材料, 生体試料にも適用できる分析法として，多くの研究分野で活用されている． 25年ぶりの大改訂となる本書では，重要性の高い基礎的な内容だけでなく，目的別の応用例を大幅に拡充．これからSIMSを使い始める学生はもちろん，現場の実務者にとっても有用な手引きとなる一冊．
- 出版社
- 丸善出版
- 発売日
- 2025-05-01
- ISBN
- 9784621311356